第105节 (第6/7页)

在一个小时前我跟你的想法没什么不同。好了，电脑是开着的吗？”施耐德指了指摆在卢宁面前的笔记本电脑。

    卢宁直接抬起手把电脑推了过去，说道：“投屏吧。”

    很快卢宁正对面的大屏幕便亮了起来，随后很快进入到了一个类似动画的界面，上方是一个环形轨道，环形轨道周遭是一个个整齐分布的机器，下方则是一个控制台。

    卢宁诧异的看了施耐德一眼。

    不过施耐德没有理会他，只是按部就班的cao作着。

    很快画面动了起来，环形轨道里无数的粒子在光柱的指引下开始飞快转动，随后一道道辐射光直接指向了那一台台机器，通过调整控制面板，就能控制粒子旋转的速度，同时控制辐射光源的强度。

    静静地看了一分钟后，卢宁才开口问道：“什么意思？”

    “这是工程部通过6小时前在《科学》杂志上发表的一篇论文制作出来的动态模拟。如同你所看到的，通过粒子加速的辐射稳定的高强度光源，然后利用这些光源来进行光刻。根据论文中的数据分析，其最强曝光能力甚至可以达到28mj每平方厘米，预估其晶圆产能大概在每小时160-185片之间。当然，这个数字要乘以28。”施耐德沉声解释道。

    卢宁半张着嘴，似乎想说点什么，但没能出声。

    施耐德并没有停下他的讲述，继续说道：“不止如此，它的控制系统非常完善，也使得其在进行加工时可以更为灵活。只需要分别输入不同的程序跟参数，就能产生不同的光源，使用不同的工艺来生产不同的芯片。换句话说，这一台巨大的设备，相当于一个大型的光刻工厂。而且还是针对不同需要，进行生产的光刻工厂。换言之，这套系统可以随后在euv跟duv进行切换。不管是