第447章 大门突然被敲响 (第3/4页)

V光源的技术，还没有很好的解决。”

    在EUV光刻机中，EUV光源无疑是最核心的设备。

    想要让光刻机高效的工作，需要有足够亮的EUV光源才行。

    在EUV光源方面，黄思白提供了一些技术，但并没有彻底的解决问题。

    “等一下……极紫外辐射的光谱，似乎还有继续优化的空间！”

    这时，徐佑突然注意到。

    在正常的激光最佳聚焦位置下，入射激光能量和等离子体之间缺乏有效的耦合。

    而其中的原因，是因为在最佳聚焦位置处，聚焦光斑尺寸较小，激光聚焦锥角也较小，等离子体吸收的能量会局限在中轴附近，影响等离子体对激光能量的吸收。

    换句话说，所谓的“激光最佳聚焦位置”，很可能并不是EUV光谱强度最强的位置。

    “如果调整一下聚焦光斑的尺寸……情况就会有所不同了。”

    按照徐佑的理论，当聚焦光斑尺寸略微增大时，激光聚焦锥角也会跟着增大。

    这样一来，激光能量会有效地分布在整个等离子体的前沿，等离子体可以有效地吸收激光能量，减少能量的损失。

    当然，聚焦光斑尺寸不可以增大过多，否则的话，就会起到适得其反的效果了。

    只是，虽然徐佑有了这些推论，但仅仅依靠自己的算力，是很难在有限的时间内，找到最佳的聚焦光斑尺寸的。

    好在，徐佑可以依靠算经强大的算力，来大大提高自己的计算速度。

    经过多次的计算，徐佑